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G3 Ult II振镜
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产品描述
参数
主要配置
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主要配置 |
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参数 |
型号 |
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G3 Ult II |
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振镜参数 |
入射光斑 |
10mm |
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跟随误差 |
0.11ms |
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标刻速度 |
8000mm/s |
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定位速度 |
15000mm/s |
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1%全行程 |
0.26ms |
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10%全行程 |
0.62ms |
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重复精度 |
< 2µrad |
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增益漂移 |
< 100ppm/K |
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零位漂移 |
< 25µrad/K |
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8小时漂移 |
< 0.1mrad |
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非线性度 |
< 0.4% |
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| 扫描角度 |
±0.35rad |
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信号波长 |
通讯协议 |
XY2-100 |
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波长 |
10600nm、1064nm、532nm、 355nm |
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供电参数 |
供电电源 |
±15V DC，5A |
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基本参数 |
重量 |
2100g |
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工作温度 |
25±10℃ |
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典型应用
G3 Ult II振镜可用于半导体、极耳切割、印刷电路板、脆性材料切割、金属微孔等。
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