主要配置

  
  标刻速度：4000mm/s                                                   定位速度：10000mm/s                                                      跟踪误差：0.25ms

  非线性度：<3.5mrad/44° 1%                                         全行程：≤0.4ms                                                               增益漂移：<50PPM/k

  零位漂移：<15μrad/k                                                    8小时漂移：<0.3mrad                                                       扫描角度：±0.35rad

  镜片光斑：10mm                                                         接口协议：XY2-100                                                           供电：±15VDC，3A

  工作温度：25℃±10℃                                                   加工幅面：150(可更换场镜)                                                扩束比：1.4/3

  波长：1064nm、532nm、355nm                                   入射孔径：7mm、7mm、3mm                                           变焦范围：光纤±30mm（搭配 F254-174场镜数据）
                                                                                                                                                                                            绿光±7mm（搭配F165-115场镜参考数据）
                                                                                                                                                                                            紫外±15mm（搭配F254-175场镜数据）

典型应用